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第889章 封锁的是今天,但我们要种出明天!(2/2)

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等离子辅助沉积边缘异常

自组装图形转移试验组

张怀民看见这些标签,眼神变了。

“这些项目,有些我当年听过。”

秦立成苦笑。

“听过的大多都黄了。”

“没听过的,黄得更快。”

一个资料管理员打开柜门,搬出几箱档案。

纸质报告、老硬盘、样片盒、工艺日志,一层层摊开。

许燃戴着手套,翻得极快。

电子束直写。

吞吐量死。

纳米压印。

模板颗粒污染,重复性崩。

干涉光刻。

周期结构能做,复杂逻辑图形难。

等离子辅助沉积。

边缘偏析不可控。

每一条看似死路,都埋着当年的血汗。

秦立成低声说:

“这些都是前辈们撞过的墙。”

“撞完以后,大家还是回到光刻主线。”

“因为那条路至少看得见产业链。”

“因为那条路至少看得见产业链。”

许燃翻到第五个箱子时,手停住了。

档案封皮发黄,标题有些旧。

嵌段共聚物自组装图形转移及亚十纳米线路探索

作者:顾景山。

时间:十四年前。

旁边附着一张评审意见。

良率低于2。7%,缺陷密度不可接受,图形长程有序性不足,不具备继续投入价值。

秦立成看见这个名字,脸色变了一下。

张怀民也皱眉。

“顾景山?”

“我有印象。”

“当年在表面物理和聚合物自组装上挺有想法。”

秦立成叹气。

“他在我们厂待过一段时间。”

“这个项目停掉后,他申请过两次复议。”

“没批。”

“后来人就走了。”

周群翻出几张旧图。

“缺陷确实多。”

“岛状偏移、线宽漂移、边界断裂。”

“按传统工艺看,没法进产线。”

简瑶却没有急着下结论。

她把其中一张统计图放大,眉头微动。

“等一下。”

“这些岛状偏移,不是完全随机。”

许燃抬手。

“调a-17样片。”

秦立成一怔。

“您怎么知道有a-17?”

许燃指了指报告页脚。

“这批数据只写了十六片。”

“曲线里多了一组未编号统计。”

“它不在正文,只在附录坐标里露了一下。”

资料管理员连忙去翻冷藏样片柜。

几分钟后,一个老式样片盒被拿出来。

标签已经褪色。

a-17

许燃接过样片盒,递给周群。

“上便携诊断。”

周群立刻让工程师接入负折射边缘态显微模块。

老设备配新模块,界面闪了两次才稳定。

屏幕上,样片表面图形被放大。

坑坑洼洼。

缺陷一堆。

小主,这个章节后面还有哦,请点击下一页继续阅读,后面更精彩!按传统验收标准,这就是废品。

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几个厂里工程师看得直皱眉。

“这良率确实没法看。”

“边界全乱了。”

“当年评审没冤枉。”

许燃没有出声。

他把一组坐标圈出来。

“看这里。”

简瑶已经同步建模。

她手指快速敲过键盘,屏幕上那片看似凌乱的图形被抽掉光刻图案,只剩下表面能分布。

下一秒。

一条若隐若现的能量谷线浮现出来。

张怀民猛地凑近。

“这是……”

周群接上电磁响应图。

“是势能场有序。”

秦立成听得发懵。

“什么意思?”

许燃抬头看向所有人。

“当年这条路线失败,不是因为顾景山方向错了。”

“是因为他被传统光刻框住了。”

“他们想让自组装服务于光刻。”

“先曝光,先刻图,再让材料按光刻留下的沟槽排队。”

“光刻图形本身有缺陷,自组装只会把缺陷放大。”

张怀民反应过来,呼吸一沉。

“反过来呢?”

许燃点了点a-17样片的能量谷线。

“反过来。”

“先用光场势阱建立原子坐标。”

“再让晶圆表面势能模板配合它。”

“材料不是去补光刻留下的坑。”

“材料自己被势阱叫到该站的位置。”

简瑶抬头,声音清亮。

“烛龙需要的不是更像euv的物镜。”

“它还需要一张晶圆表面的势能地图。”

“天上有光场。”

“地上要有模板。”

周群接了一句:

“光场负责点名。”

“表面模板负责排队。”

老郑在旁边听得头皮发麻。

“所以这不是把废案捡回来。”

“这是把废案翻了个面。”

秦立成看着那份发黄报告,手指都在抖。

“顾景山当年说过一句话。”

“他说,图形不是刻出来的,也可以长出来。”

“他说,图形不是刻出来的,也可以长出来。”

“那时候大家都觉得他魔怔了。”

“评审会上有人当场拍桌子,说晶圆厂不是种菜。”

陈容与的远程窗口突然亮了。

“谁说不是?”

“种得好,芯片一茬一茬长,这不比种菜赚钱?”

资料室里几个人没忍住笑了。

笑完又安静。

因为他们都看见,许燃把那份报告合上了。

动作像给一段尘封多年的旧案,重新盖了章。

许燃看向秦立成。

“把这个作者找回来。”

秦立成眼眶一下红了。

“许总,他当年走得不体面。”

“项目停了,团队散了。”

“有人说他浪费经费。”

“还有人说他拿幻想当科研。”

许燃开口:

“他不是失败者。”

“他提前十年摸到了门。”

秦立成低下头,声音哑了。

“我马上找。”

就在这时,林毅的加密终端响了一声。

他看了一眼,脸色微沉。

“许总,有个情况。”

“说。”

“顾景山的旧档案,昨晚被远程检索过。”

秦立成猛地抬头。

“不可能!”

“这间资料室不接外网。”

林毅把记录投到墙上。

“不是直接进来的。”

“走的是一条海外设备售后诊断残留通道。”

“检索关键词有三个。”

“自组装。”

“势能模板。”

“还有……”

他停了一下。

屏幕最后一行亮起。

a-17

资料室里,除湿机的声音忽然显得刺耳。

许燃抬眼。

“把门关上。”

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