第429章 拦路虎（2/2）
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接下来就是实战了。
巨大的机床上，机械臂带着磁流变喷头，在巨大的萤石镜片上缓缓移动。
没有噪音，没有火花。
只有黑色的磁流变液，像丝绸一样滑过镜面。
这就是原子级切削。
每一次拂过，带走几层原子。
一周后。
检测结果：rms
=
0。35nm。
山田光一看着那块如同一汪清水般的镜片，跪在地上，泣不成声。
“这是……神迹。”
镜子磨好了。
但怎么装？怎么测？
这块镜子重达几百公斤。把它竖起来，重力会让它发生微米级的形变。
对于0。5纳米的精度要求来说，微米级的形变简直是灾难。
而且，没有zygo干涉仪，怎么知道它磨对了没有？
“我们没有干涉仪。”王海冰绝望地说，“没有尺子，我们怎么知道布匹的长度？”
“那就造一把尺子。”
林远看向汉斯。
“汉斯，你还记得asml是怎么测镜子的吗？”
“他们也不用zygo。”汉斯说，“对于这种超大口径，他们用点衍射干涉仪（pdi）。”
“不需要大口径的标准镜，只需要一个针孔。”
激光通过一个微米级的针孔，衍射出完美的球面波。
用这个完美的球面波作为基准，去和被测镜面的反射波进行干涉。
“这不需要复杂的透镜，只需要精密的机械结构。”
“但是，”汉斯皱眉，“要在重力环境下测量，必须把镜子卸载。”
“卸载？”
“对。用几十个支撑点，把镜子的重力抵消掉，模拟太空中的失重状态。”
“这需要极其复杂的主动支撑系统。”
林远调来了石头科技的机器人团队。
“张博，我要你们做一个液压+压电混合支撑床。”
“粗调，36个液压囊，承担镜子99%的重量。精调，每个液压囊上，装一个压电陶瓷致动器。”
“然后，用ai实时计算镜子的受力变形。当重力把镜子往下拉时，压电陶瓷就往上顶。”
“我们要让这块几百公斤的玻璃，在地球上漂浮。”
三个月后。
江州，恒温恒湿控制在0。01度的超净装配车间。
一座高达3米的巨大金属塔矗立在中央。
这就是启明-nikon
high-na物镜系统。
里面层叠着12块巨大的萤石透镜和石英透镜。
里面层叠着12块巨大的萤石透镜和石英透镜。
每一块透镜，都漂浮在主动支撑系统上。
“激光对准。”
一束红色的引导激光射入物镜顶部。
经过12次折射，最终汇聚在底部的像面上。
“波前像差检测……”
所有人都屏住了呼吸。
这是最后的审判。
屏幕上，泽尼克多项式的系数开始跳动。
rms
wavefront
error
1。2
nm。
“1。2纳米？”山田光一惊叫，“这……这比asml的euv镜头还要好！”
要知道，euv镜头的波前像差通常在2nm左右。
“因为我们用了透射式。”李振声解释道，“euv只能用反射式，反射式对表面精度要求是透射式的4倍。我们用193nm透射，虽然波长长，但光学设计自由度大。”
“配合我们的计算光刻……我们真的能做3纳米！”
就在所有人欢呼的时候。
林远的手机响了。
是赵孟頫打来的。
他虽然下台了，但情报网还在。
“林远，你搞出大动静了。”
“美国cia已经知道了尼康泄密的事。”
“他们没有找日本政府，而是直接找了康宁和肖特。他们怀疑你们解决了萤石来源。现在他们正在全球范围内，搜查所有的高纯度氟化钙粉末流向。”
“而且，”赵孟頫的声音低沉，“他们启动了破坏行动。”
“什么破坏？”
“你用的那个磁流变液，核心配方里有一种特殊的磁性粉末。”
“美国商务部刚刚把这种粉末列入了最高级别的管制清单。”
“并且，他们向你的供应商某家国内的化工企业，发送了威胁信。”
“如果你不能在24小时内解决磁流变液的国产化。”
“你的下一块镜子，就磨不出来了。”
林远挂断电话。
看着那座巨大的镜头塔。
他知道，这只是样机。
要量产，必须解决耗材。
磁流变液，这种黑乎乎的液体，成了新的拦路虎。
“去把江钢化工部的人叫来。还有，联系包头稀土研究院。”
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