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第147章 影青入画,魔鬼细(2/2)

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他在镜筒的内壁,设计了一圈微小的,如同弹簧般的“柔性铰链”结构。

“我们利用金属的微小弹性变形,来吸收和补偿装配误差。就像我们古建筑里的榫卯结构,看似松动,实则稳固,且能自动适应应力变化。”

“这叫——柔性支撑技术!”

贺云飞看着那个巧妙的设计,眼睛瞬间亮了!

“妙!太妙了!以柔克刚,化整为零!我怎么就没想到!”

经过改进后的镜筒,再次进行装配。

这一次,奇迹发生了。

当最后一片透镜安装到位,干涉仪上的波面图,呈现出了完美的同心圆!像差,被成功控制在了衍射极限以内!

第一套合格的投影物镜系统,终于组装完成!

所有的拼图,终于凑齐。

在一个激动人心的夜晚,“神光一号”光刻机的主机,第一次被完整地组装了起来。

光源系统启动,深紫色的紫外光,经过匀光系统,穿过掩膜版,进入了那套昂贵的物镜系统。

在“女娲”系统的精准控制下,在“龙渊”工件台的平稳移动中。

那束光,最终,精准地聚焦在了一片,涂满了“影青一号”光刻胶的硅片之上。

曝光!显影!

当那片硅片,被放到高倍电子显微镜下时。

贺云飞,这位为中国光刻机事业奋斗了半辈子的老人,颤抖着手,调节着焦距。

视野逐渐清晰。

一条条,边缘锐利,线条笔直,宽度只有0.8微米的电路图案,如同大地上的沟壑,清晰地,展现在了他的眼前!

没有断裂,没有毛刺,没有粘连!

完美!

贺云飞猛地抬起头,泪水,早已模糊了他的双眼。

他看着身边的李晓宇,看着周围那些同样激动得泣不成声的年轻人们,用一种,仿佛用尽了全身力气的声音,颤抖着说道:

“我们……看见了……”

“我们看见了,微观世界的……长城!”

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