第340章(2/2)
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“理论上是这样。”郑昊点了点头,随即话锋一转,“但魔鬼,全在细节里。”
他拿起一张纸和笔,在上面画了一个示意图。
“第一个魔鬼,叫定向。单晶硅是各向异性的,不同晶向的物理和化学性质完全不同。我们后续的工艺,比如腐蚀,都是基于特定的晶向来进行的。所以,在切割之前,我们必须用x射线衍射法,精确地找到它的
晶向,并沿着这个方向切割。这个过程,不能有丝毫偏差。”
周煜立刻意识到了问题的关键:“我们的x射线衍射仪精度不够,而且操作复杂,要做到批量化的精确定向,很难。”
“第二个魔鬼,叫切割。”郑昊继续画着,“我们用的不是普通的金刚石锯片,而是一种内圆切割机。刀片是环形的,金刚石刃口在内圈。这样切割时,刀片的张力可以保证极高的切割精度和稳定性。但是,这种刀片,我们国家造不出来。它的厚度只有零点几毫米,对应变和材料要求极高。”
“第三个魔鬼,叫研磨和抛光。”郑昊的声音愈发凝重,“切割下来的硅片,表面会有很多刀痕和损伤层。我们需要用研磨液,进行双面研磨,把硅片的厚度误差控制在微米级别。然后,是化学机械抛光(cmp),用纳米级的二氧化硅磨料和化学腐蚀液,把硅片的一面,抛光到原子级的平整度。这个表面的粗糙度,要比我们能造出的最精密的光学镜头,还要光滑上百倍!”
一连串闻所未闻的名词和匪夷所思的技术指标,像三座大山,压在了众人心头。刚刚还轻松愉快的气氛,瞬间变得凝重起来。
原来,把一块“石头”变成一片“镜子”,竟然是如此艰难的一件事。s